记者 | 彭新

俄乌冲突形势骤然紧张，牵动全球半导体供应链。

据彭博社报道，存储芯片大厂美光近日透露，该公司有部分使用的惰性气体，如氖气（Neon）等来自乌克兰，正密切关注俄乌局势。光刻机巨头ASML 2月23日也称，正在研究其工厂使用的氖气替代来源，原因在于俄乌军事冲突，氖气供应可能出现中断。

市场研究机构Techcet指出，许多半导体公司都会向乌克兰、俄罗斯采购半导体原料，若乌克兰陷入战火，俄罗斯也可能因遭受西方制裁而实施报复，其中半导体供应链中主要受影响的即是氖气等惰性气体。

氖气等惰性气体主要是俄罗斯钢铁业生产的副产品，并在乌克兰进行纯化。乌克兰为半导体原料气体供应大国，包含氖、氩、氪、氙等。资料显示，乌克兰供应了全球70%的氖气需求，40%的氪气以及30%的氙气。

氖气是芯片制造中用于镭射曝光制程的关键材料。2014年俄乌在克里米亚冲突期间，价格曾极速飙升。尽管氖气在半导体制程中的使用比重不如其他产业，但其仍为必要原材料，若供应受阻仍将对产业造成影响。

据半导体市场调研机构集邦咨询介绍，在半导体制造工艺中，惰性气体主要应用于半导体微影制程，该制程线宽需进一步微缩至220nm以下时，即开始进入DUV（深紫外光）准分子激光世代，以惰性混合气体与卤素分子混合，藉由电子束能量激发产生深紫外光的波长，将制程推进180nm以下线宽。DUV准分子激光当中所需要的惰性混合气体就包含氖气，且氖气为混合气体当中的必要气体，难以取代。而半导体微影制程当中需要氖气的制程主要为DUV曝光，制程节点涵盖自8英寸晶圆180nm至12英寸晶圆1Xnm。

美光称，目前日益恶化的俄乌问题，突显了半导体产业供应链既复杂又脆弱的问题，但其强调拥有大量惰性气体库存，并有许多供应链，不会因为当地局势而受到重创。

ASML周三则发布声明称，正在研究其工厂使用的氖气替代来源。目前由于俄罗斯与乌克兰的军事冲突，氖气供应可能出现中断。该公司还表示，尽管乌克兰是世界上最大的氖生产国，但ASML使用的气体中，只有不到20%来自乌克兰。

另一家芯片大厂英特尔也已对外表示，预计氖的供应不会因此受到影响。

对中国来说，与钢铁工业深度绑定的惰性气体生产提纯技术已经成熟。中国特种气体市场资深分析师任路对媒体称，中国是全球钢铁大国，对于这些稀有气体的纯化技术已经实现了突破，生产工艺也比较成熟。极端情况下，俄乌供应链若中断，中国完全可以组织紧急生产以保障国内的供应。

全球缺芯背景下，市场亦担忧俄乌冲突扰动供应链。像美光、英特尔、ASML这样的大型半导体厂商，拥有更多元的供应来源，面对俄乌危机也能够更有弹性的调整供应来源，但对中小厂商而言，寻求供应链替代将存在较大挑战。

国金证券认为，后续如果有氖气、氪气和氙气的供应风险，下游晶圆厂的寻求替代供应商需要半年以上时间验证，会面临新的短料风险。

集邦咨询2月15日发布报告称，俄乌冲突虽可能冲击该地区惰性气体供应，但在半导体厂、气体供应厂皆备有库存，且仍有其它地区供应的情况下，短期内不至于造成产线中断影响产出，不过气体供应量减少仍将可能造成价格上涨，同时致使芯片生产成本进一步提升。